フォトレジスト

フォトレジストとは、

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露光・現像の原理

(銀塩写真と同じ)

により

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微細加工を行うフォトリソグラフィ

で使用する、

↓

光で感光する樹脂材料のこと。 

作成したいパターン

で露光すると、

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光があたった部分の樹脂だけが

↓

化学的に変化し、

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現像液に対する溶解度の差により

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露光と同じパターンの

レジスト

↓

が形成される。