TSMCが産総研内に評価用ライン構築、経産省の次世代半導体技術支援で

共同実施企業として

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材料メーカーでは、

旭化成、イビデン、JSR、

昭和電工マテリアルズ、信越化学工業、

新光電気工業、住友化学、積水化学工業、

東京応化工業、長瀬産業、日東電工、

日本電気硝子、富士フイルム、三井化学

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が参加している。

また、

装置メーカーとしては、

キーエンス、芝浦メカトロニクス、

島津製作所、昭和電工、ディスコ、

東レエンジニアリング、日東電工、

日立ハイテク

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が参加する。

大学・研究機関からは

産業技術総合研究所、

先端システム技術研究組合（RaaS）、

東京大学

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が参画する。